BUSCH Microsystems GmbH

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Busch Produkte

3-Achssysteme

Standardsysteme mit X-Achse kombiniert als XY-Tisch

Busch AS XY 300

Charakterisierung:

  • Grundaufbau aus Granit
  • Höchste Systemgenauigkeit durch ideale Abstimmung aller Komponenten
  • Antrieb durch Linearmotoren in XY/ Servomotor in Z
  • Variable Position der Z-Achse möglich
  • Besonders steife Auslegung der Traverse
  • Inkrementelles Messsystem

Varianten:

  • Absolutes Messsystem
  • Messsysteme aus Invar oder Zerodur
  • Luftlager für höchste Ansprüche
  • Mit Untergestell und/oder Steuerung
  • X-Achse kombiniert als XY-Tisch oder auf der Traverse
  • Weitere Z-Achsen möglich
Basisdaten – konfigurierbar nach ihrer Anwendung
AntriebssystemEisenbehaftete Linearmotoren in XY/ Servomotor in Z
Auflösung des Messsystems100 – 1 nm
Reproduzierbarkeit (Mean & Peak-to-Peak)Abhängig von Auflösung und Steuerung
Verfahrweg X200 – 1.000 mm
Verfahrweg Y200 – 1.000 mm
Verfahrweg Z100 – 300 mm
Max. Geschwindigkeit1 m/s
Max. Beschleunigung10 m/s²

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